直接成像和掩模写入——完全符合您的工艺要求

持续增长,永不停歇。精准思考,精准行动。自1986年以来,始终如一的原创精神。

MIVA 是直接成像和掩模写入领域的先驱:以标准为基础,根据具体情况量身定制细节。 

使用同一台机器提高产量,减少多达 25% 的废品,加快审批速度——还有一位您可依赖的支持合作伙伴相伴左右。 

MIVA 基本机器

选择您的基础平台——并对其进行扩展,使其能够完美支持您的流程,并在最佳情况下实现流程优化。

Direct Imager 2200L DI

紧凑型直接成像仪,适用于电路板生产——简单、灵活且用途广泛

Mask Writer 1200L MW

用于微系统和半导体的尖端掩模写入器,可将最精细的结构直接写入光掩模。

Direct Imager 3000L DI 定制版

模块化可扩展的直接成像仪,适用于大尺寸面板和特殊规格——从原型到批量生产。

量身定制的解决方案

我们的三款基本机型构成了基础——其余部分可根据您的需求进行定制。


从附加照相头、波长和光学器件,到特殊格式、带索引的 R2R/超长格式、多分辨率设置,再到我们的 DART 模块:我们进行配置和扩展,使机器遵循您的流程,而不是相反。

根据您的要求,我们可以根据您的材料调整软件预设,或实现具有重大影响的细节(例如,在“小板”上添加二维码、日期格式、低噪音外围设备放置)。
我们的方法是共同设计:我们花时间了解您的环境,分析目标值(产量、节拍、格式、材料),检查示例数据,定义接受标准,并据此制定您的整体方案

所有这些都是为了实现一个目标:用同一台机器提高产量,减少废品,确保交货期——今天高效,明天可扩展

请联系我们——我们将通过免费的流程咨询,向您展示哪种配置符合您的目标,以及您的生产线中蕴藏着哪些潜在潜力。

DART

——直接曝光领域的突破性技术

如果您的首次扫描每次都能准确定位
DART 实现了曝光的闭环控制:全区域扫描、飞行中校正、验证曝光——对齐速度提高约 4 倍,每 5 秒可处理多达 2,000 个目标,注册精度提高约 25%。

简而言之:具有思考能力的精度。

面板被完全记录下来,曝光在像素级别上实时调整,结果立即得到验证。这带来了稳定的质量、更高的产量、更少的废品和更快的批准——从原型到批量生产。

DART 树立了新标准——未来工艺控制的标准。

1. 首件工具

在曝光后测量线宽/特征,并进行数字调整以达到目标值。

2. 过程控制工具

在开发/蚀刻后生成 3D 地形图;显示压力/蚀刻波动。

3. DART扫描

4 秒内可测量多达 2,000 个测量点——而不是 8-12 秒内测量几个测量点

4. 激光和机械钻头

激光和机械钻孔采用独立缩放;轨道遵循优化权重

*注意:DART Drill 与 DART Scan 独立配置(每台机器/每个项目的兼容性——我们很乐意为您提供咨询)。

MIVA技术

——可重复精度的基础

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平板床和花岗岩底座

平板床和花岗岩底座

所有 MIVA 系统均为平板系统:曝光期间,基板保持水平固定,曝光装置在其上方移动。这样,整个区域的像素和线宽都能保持稳定,避免因变形造成的错误。此外,花岗岩基座和闭环位置控制确保长期稳定的精度,同时结构紧凑、节能高效。

四波LED

四波LED

每台投影仪都使用四种半导体波长,因此可以精确地调整曝光量以适应不同的抗蚀剂和焊膏掩模。在当前一代产品中,波长可以进行精细调整(例如 360/370/390/405 nm),从而提高了效率和边缘质量。 可进行多头配置,光源为可快速更换的模块。

A/B注册(标准)

A/B注册(标准)

该系统支持集成式 A/B 面注册,因此正面和背面能够精确对齐。视觉功能有助于轻松找到目标,并加快面板处理速度。这减少了转换工作量,并确保了可重复的双面精度。(取决于型号;2200L 部分型号无需工具。)

双分辨率/多分辨率

双分辨率/多分辨率

MIVA 提供多种分辨率模式:直接成像仪可提供 30 微米/15 微米/高达 6 微米等分辨率;1200MW 可选择 LED 或激光光源引擎,并可组合双重/混合分辨率。因此,您可以在一个平台上同时获得速度和细节分辨率,而无需使用两台独立机器(视型号而定)。

自动化就绪

自动化就绪

装载可手动或自动进行——2200L 支持自动化,较大的平台可集成到 R2R/索引流程和特殊格式中。这减少了处理时间,并稳定了生产线节拍。也可实现大尺寸或客户定制的床尺寸(视项目而定)。

直观的软件和预设

直观的软件和预设

NETLINK 支持在 LAN 中进行远程控制,管理各种介质的曝光队列,并自动设置设备参数——这减少了操作错误和工作量。位图解释器支持常见格式(例如 PCX、TIFF、PostScript),缩短了从数据到曝光的路径。根据要求,我们可以为面板和胶片集成编号/编码逻辑。

MIVA

不仅限于维护:您的生命周期合作伙伴

在 MIVA,我们的服务不会在交付机器后就结束。我们将服务视为一种合作伙伴关系:从首次交谈到稳定的生产日常以及更远的未来,我们始终倾听、思考并交付。

 我们不强制绑定,而是以透明、公平的方式计算价格,始终以确保您的生产线稳定生产为目标,以便您能够规划时间和成本。

您可以具体期待我们提供以下服务:

我们的服务套餐:

滑动以比较

性能

青铜

黄金

技术热线支持——通过电话、电子邮件、TeamViewer 提供无限访问

根据维护计划更换所有过滤器——HEPA、冷却水、压缩空气 

远程支持——在线诊断和在线配置支持

预防性维护——根据建议的时间间隔进行检查与校准

软件升级——提供新版本的 MIVA 许可软件

优先服务与支持——保证更快的响应时间

延长保修——全面覆盖,包括零件和维修费用

我们对合作伙伴关系的理解

我们将服务视为一种伙伴关系——我们希望向您证明,我们的承诺在日常工作中得以兑现。 

正因为如此,我们的许多客户从第一个项目开始就与我们建立了长期的合作关系:因为可靠性、便捷性和公平的框架才是最重要的。

在 MIVA,您将获得双重收益:一台能够适应您流程的机器,以及随后为您提供主动支持的服务——响应时间明确、解决方案远程、套餐可规划(铜、银、金),没有不必要的合同束缚。

让我们进行一次非约束性的交谈:在45分钟内,我们将明确目标、应用环境和支持需求——根据您的要求,我们可以从精简开始,并在您的需求增长时进行扩展。这样,您就可以了解我们和我们的握手式方法:倾听、思考、交付。

三步获得最适合您的报价

1. 在在线日历中选择日期

请在我们的在线日程表中选择适合您的时间。通过面谈,我们可以更好地了解您的需求。

2. 上传信息

请告知我们应用领域、格式/材料、所需分辨率和时间安排——您还可以选择附加重要文件,以便我们更好地了解情况,为共同的约会做好准备。

3. 预约时间与个性化报价

我们将审核您的文件,并在预约时讨论所有其他细节。在此基础上,我们将为您量身定制一份报价。 

MIVA背后的故事

MIVA 为 Photopotter 采用 CRT 技术

MIVA 照片绘图仪首次亮相

MIVA 现在为照相制图仪使用 LCD 模块

首款采用花岗岩底座的垂直光绘仪,精度更高

采用DMD技术的直接成像仪的开发

在德国交付首批配备双波多光源引擎的直接曝光机

首次向越南客户发货

首批四波DI应用交付

首款配备 1.5 微米照相头的直接曝光机,可处理非常小的结构

首台42英寸x 60英寸的大尺寸机器交付美国一家军工企业

首台配备新一代照相头的机器

开发并交付配备 DART 扫描仪的机器
+ 我们的新款 MIVA falcon 的诞生

最重要的问题与解答

MIVA机器多久能收回成本?

根据具体应用情况,通常通过更高的产量、更少的准备时间和可计划的服务来显著提高速度。根据您的要求,我们可根据您的数据提供投资回报率估计。

是的——一个同时满足这两方面的平台,无需更换平台。

DART 可在整个平台上使用;模块可根据要求进行配置。

是的——支持自动化准备、索引和R2R(3000L定制)。

Quad-Wave LED 可覆盖常见的光刻胶/焊膏掩模;尺寸从 24 英寸×30 英寸到 42 英寸×60 英寸(以及定制尺寸)。

Gerber 和 TIFF 格式可直接读取。其他格式可通过转换器进行整合,例如 OASIS、ODB++、GDS、DXF、CIF、PostScript/EPS 等,还有许多其他格式可应要求提供。

是的,我们可以通过 OPC UA 或 Modbus 与 MES/ERP 系统交换数据。还可以实现其他协议或连接。

是的,我们一直都是这么做的。欢迎您先参加一次在线初步面谈。

这很大程度上取决于您的项目。标准机器在几周后即可投入生产。

是的——我们在北美和亚洲都有业务。

是的——我们提供各种标准维护合同。这些合同也可以根据个人需求进行调整。

在营业时间内24小时内响应,大部分工作可远程完成,如有需要可提供现场服务以及培训/后续服务。